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微机电系统（MEMS）技术标准微机械量评定总则微几何量评定总则基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法 MEMS器件的可靠性

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估值技术(美)大卫 T.拉勒比(David T.Larrabee),(美)贾森 A.沃斯(Jason A.Voss)编;王晋忠等译著金融经管、励志

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类目：书籍/杂志/报纸
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